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  • GAS00系列

    ★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
    ★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
    ★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
    ★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度
    ★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
    ★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
    • 产品介绍

    GAS00系列

     GAS00系列

    型号

    工作台面尺寸 (mm)

    基座尺寸 (mm)

    行程 (mm)

    角度(θ)

    水平负载能力 (kgf)

    反复定位精度(um)

    GAS00-160LC

    160x160

    170x170

    ±3 x ±3

    ±2°

    30

    UP:±1 
    P:±5

    GAS00-190HC

    190x190

    210x210

    ±4 x ±4

    ±3°

    65

    UP:±1 
    P:±5

    GAS00-200HC

    200x200

    350x350

    ±7 x ±7

    ±3°

    130

    UP:±1 
    P:±5

      

    特性介绍
      

    ♦ 採用了划时代性模组结构的超薄型平台

    在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性,实现了超薄型结构。

    ♦ 高刚性、高精度

    对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压,达到高精度、高刚性的结构。

    ♦ 超薄型、轻量化、中空结构

    採用XYθ模组化结构,实现了无中座、薄而轻的机构,可作为光学式检查装置或导通测试时使用。

    ♦ 润滑系统

    在各种运动轨道加入润滑系统,确保润滑脂补充,提高对位平台使用的寿命及精度。

    ♦ 尺寸齐全 适用各种机型运用

    工作台面尺寸口100mm~口1500mm,为了可以对应更大的精度荷载,可藉由增加从动模组之数量来达成。

     

     

     

    产业应用介绍

    ♦  面板貼合機

    ♦  面板貼膜機

    ♦  網版及3D網版印刷

    ♦  玻璃側角及磨邊設備

    ♦  Wafe對位設備

    ♦  P.C.D曝光設備

    ♦  軟體裁切設備

    ♦  半導體設備

     

    結構說明

     

    动作原理

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